一、超高純供氣系統(tǒng)施工的選型與設計。
除簡易供氣系統(tǒng)外，特氣房一般獨立于主房之外單獨建造，在規(guī)劃中應考慮建筑物的防火、防爆、防火和防爆間距，并對危險物進行總量控制。傳統(tǒng)的供氣系統(tǒng)一般也都是在一個氣體室內設置多個氣瓶柜；而對于大容量的特殊氣體，會根據(jù)氣體的性質和相容性將氣體房分為可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷房、毒性氣體房等。超高純供氣系統(tǒng)施工房間必須通風良好，超高純供氣系統(tǒng)施工房間的選擇和設計通常由設計院來完成。
二、管路系統(tǒng)設計
1.管路系統(tǒng)設計選材
特種氣體管道系統(tǒng)一般采用316L不銹鋼電解拋光管，閥門一般采用高純調壓閥，隔膜閥，高精密過濾器，(<0.003微米),VCR接頭等。管道元件與氣體接觸時，表面粗糙度可控制在5uin以內。對CL2等一些腐蝕性強的氣體，可采用經特殊處理的耐腐蝕強電鍍管道。
2.設計了主管路系統(tǒng)；
當確定了好的超高純供氣系統(tǒng)氣體房間和用氣點后，監(jiān)控系統(tǒng)一般都遵循管線短、彎道少、布置簡潔合理、給人簡約美觀的感覺。輸送機的數(shù)量和管徑的大小一般是由機臺用氣點和流量大小決定的，基本上都是采用小管徑輸送機(1/4-3/4)，而且備用系統(tǒng)設計較多。鑒于天然氣本身的危險性，很多地方都采用在電纜橋架上鋪設管道，對于穿墻或穿夾道的地方、周圍有危險源的地方和經常進行危險作業(yè)的地方，露天管道一般都設置在全封閉的橋架上。
如果是低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等)，則需要考慮氣缸加熱，氣缸面板加熱，管路伴熱等。氣源端一般都會考慮配置高精度壓力變送器、電子秤、溫度控制器等，以控制流量。機器臺氣點上也均配有質量流量計、調壓閥。對高毒性、高反應及自燃氣體，應采用雙管輸送。與此同時，管路的設計應采用零死區(qū)設計，即整個管路系統(tǒng)由氣柜到VMB，由VMB到用氣點，點對點，中間不允許有死氣死角。這樣，VMB在整個管道系統(tǒng)內完成氣體分配，中間無三通。終管路還需要好的接地。
3.設計輔助系統(tǒng)。
氣箱或控制板在安裝和運輸過程中更換閥門、接頭、過濾器等，或出于其他原因，需要重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮或氦氣，因此特氣箱需要超高純供氣系統(tǒng)設計為與高壓惰性氣體氦氣或氦氣相連。通常選擇在特殊房間中設置一個或多個惰性氣體柜。它的連接形式是：
專用氣柜內設有各種氣體驅動閥，主管路在送氣前必須進行管道吹掃及空氣置換，因此還需配套高純氮氣及潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以使用SUS316L-EP管，CDA可以使用SUS316L-BA管，其直徑是根據(jù)氣柜大小計算出來的。
煤氣房和煤氣柜也需配備自動噴淋系統(tǒng)，但有些氣體如三氟化氯、硅烷遇水反應等，此時也需考慮使用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
通風系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)也是超高純供氣系統(tǒng)施工的重要組成部分。它的排放系統(tǒng)還按危險物質的性質分為普通排放系統(tǒng)(GEX)、酸性排放系統(tǒng)(SEX)、溶劑排放系統(tǒng)(VEX)和氨排放系統(tǒng)(AEX)。鍍鋅鐵皮風管用于普通排風系統(tǒng)，玻璃鋼風管用于酸性排風系統(tǒng)，而溶劑和氨氣排風系統(tǒng)一般采用不銹鋼風管。風箱的排風也根據(jù)其特性與上述不同的排風系統(tǒng)相連。特氣放空是指煤氣專用管道和儲氣柜內的煤氣，經氮氣稀釋后，由放空管道排入大氣或排出系統(tǒng)中，有些劇毒氣體或有害氣體則排入尾氣處理裝置，經處理后排入相應的排出系統(tǒng)中。放風系統(tǒng)一般采用SUS304不銹鋼管，直通屋頂，高度約2米，并設置了防雨罩。
三、GMS系統(tǒng)及GDS系統(tǒng)。
氣量監(jiān)測系統(tǒng)(GMS)通過計算機網絡，實現(xiàn)了對氣量輸送系統(tǒng)的實時監(jiān)測，保證了系統(tǒng)穩(wěn)定運行。
氣敏探測系統(tǒng)(GDS)是工廠生活安全系統(tǒng)(LSS)的重要組成部分。對探測器要求除精度高、響應快外，還應具有自檢測功能。對這兩個系統(tǒng)，這里只能簡單介紹一下概念。
充分了解氣體的特性，從而合理地配置系統(tǒng)，合理地選擇管徑和管材，這樣可以大大地降低整個系統(tǒng)的成本。
