特氣系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造中的作用主要包括以下幾個(gè)方面：
確保高純度氣體供應(yīng)：半導(dǎo)體制造對(duì)氣體純度的要求極高。特氣系統(tǒng)能夠提供高純度的特種氣體，確保在光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝中，微量的雜質(zhì)不會(huì)引發(fā)圖形缺陷、線寬偏差等問(wèn)題，從而顯著提升芯片的性能和成品率1。
精準(zhǔn)控制與穩(wěn)定供應(yīng)：在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，特種氣體的流量和壓力控制極為重要。特氣系統(tǒng)配備高精度的流量控制器和壓力調(diào)節(jié)器，確保氣體流量和壓力的精確調(diào)節(jié)，特別是在離子注入工藝中，精確的氣體流量和壓力控制直接影響芯片的電學(xué)性能1。此外，特氣系統(tǒng)通過(guò)可靠的氣體儲(chǔ)存、輸送和供應(yīng)設(shè)備，確保氣體供應(yīng)的連續(xù)性和穩(wěn)定性，降低生產(chǎn)中斷風(fēng)險(xiǎn)，提高生產(chǎn)效率和設(shè)備利用率1。
